ZARZYCKI, Artur; GAMBIN, Wiktor L.; BARGIEL, Sylwester; GORECKI, Christophe. Fabricación de sistemas MEMS – un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo. TecnoLógicas, [S. l.], v. 20, n. 39, p. 141–155, 2017. DOI: 10.22430/22565337.697. Disponível em: https://revistas.itm.edu.co/index.php/tecnologicas/article/view/697. Acesso em: 28 mar. 2024.